高分辨率UVK3紫外曝光機

UVK3有一個(gè)完全自動(dòng)的紫外線(xiàn)曝光室，可產(chǎn)生角度小于2°的高度準直的紫外線(xiàn)。使用UV LED，無(wú)需加熱或冷卻時(shí)間，并且LED燈的使用壽命超過(guò)10000小時(shí)。智能化的操作界面簡(jiǎn)化了紫外曝光的操作過(guò)程，您只需要按照屏幕上的指示進(jìn)行操作即可。UVK3紫外曝光機的分辨率為2μm，可滿(mǎn)足95%的微流體應用。

優(yōu)勢
（1）高分辨率低至2μm
（2）高紫外線(xiàn)功率曝光
（3）完全可調的時(shí)間和功率
（4）易于使用
（5）提供軟光刻工藝的全部知識

技術(shù)支持
我們?yōu)槲覀児�應的所有設備提供高水平的技術(shù)支持，同時(shí)也為紫外曝光前后的相關(guān)微加工步驟提供支持。除了在整個(gè)過(guò)程中幫助您提供一部分支持外，我們還可以在所有加工過(guò)程中為您提供指導。

技術(shù)規格
（1）UVK3通常適用于4英寸晶圓，但可用于較小的基板。
（2）可以使用塑料面罩粘貼在純硼硅玻璃上
（3）UVK3可與5英寸玻璃面罩配合使用，但如果需要，可添加4英寸適配器。
（4）UVK3可以以連續或脈沖的模式工作
（5）標稱(chēng)功率約為50mW/cm2，可根據用途在0%到100%之間進(jìn)行調整。
（6）設備內部安裝有一個(gè)紫外線(xiàn)計，可以隨時(shí)控制紫外燈的功率。