---提供加工SU-8模具和PDMS芯片的全部產(chǎn)品---
現在任何實(shí)驗室在不要超凈室的情況下都可以加工SU-8模具和PDMS芯片
● 節省時(shí)間：我們提供并安裝您實(shí)驗室中的所有設備
● 易于使用：通過(guò)我們的P&P儀器和培訓，一周后您就可以在您的實(shí)驗室內加工PDMS芯片
● 節省空間：相當于3平方米的傳統潔凈室
● 高分辨率：達到與無(wú)塵超凈室內的相同分辨率
一站式軟光刻設備包包括實(shí)驗室內加工模具和復制PDMS芯片所需要的一切。該包包括所有設備和支持自主加工微流控芯片。
一站式軟光刻設備包是一個(gè)交鑰匙工程，不需要購買(mǎi)任何附加設備�；旧现恍枰粋�(gè)化學(xué)通風(fēng)廚和一個(gè)小工作空間。我們根據您的需求來(lái)一起調整設備包的組成。
特點(diǎn)&優(yōu)勢
● 達到與無(wú)塵室中相同的圖案分辨率
● 獲得許多后續PDMS模具的強光阻圖案
● 穩定可靠的流程可輕松實(shí)現重復性
● 即使沒(méi)有微加工的初步知識，也可以加工您的模具。
● 獲得良好的儀器設備以便確保您的設備有較長(cháng)的使用壽命
● 高度可重復的芯片加工工藝
● 快速加工工藝并在24小時(shí)內生產(chǎn)您的芯片
● 充分利用我們在軟光刻工藝方面的知識
包括
儀器：
● 完整的空氣等離子系統
● 用于快速PDMS固化的烤箱
● 用于PDMS脫氣的干燥器
● 可編程旋涂機
● 紫外燈——LED曝光
● 可編程熱板
● 。。。
附件：
包括所有實(shí)驗配件（硅片、鑷子、載玻片、培養皿、一次性杯子、攪拌棒、解剖刀等）。我們?yōu)槟峁┧挟a(chǎn)品的參考信息和供應商信息以填充您的庫存。
化學(xué)試劑：
包括所有化學(xué)品（SU8、粘附促進(jìn)劑、SU8顯影劑、異丙醇、丙酮等）。我們?yōu)槟峁┧挟a(chǎn)品的參考信息和供應商信息以填充您的庫存。
如下是對PDMS芯片加工設備的簡(jiǎn)要介紹
等離子清洗器
第一個(gè)專(zhuān)為PDMS鍵合設計的等離子清洗器，這種自動(dòng)化等離子可以輕松加工您的PDMS微流體器件。由于其采用真空反饋回路，所以，該等離子清洗器可自動(dòng)調節腔室內的真空而無(wú)需手動(dòng)調節。
主要優(yōu)勢
便于PDMS鍵合的自動(dòng)壓力調節
用于隨時(shí)間重現過(guò)程的低壓漂移量表
安全的真空泵以避免污染等離子室
三種射頻功率可用
數字真空計
與3-6英寸晶圓兼容的精細真空調節
烘箱
傳統干燥箱，前面板帶有雙金屬流體膨脹探頭熱調節器。這款4英寸晶圓的烘箱可讓您高效的鍵合PDMS芯片。事實(shí)上，它的大小適用于培養皿的尺寸，一次可加熱兩個(gè)模具。其較小的占地面積可實(shí)現快速預熱和較小的電耗。這是一個(gè)真正可以移動(dòng)的設備，可以隨處安裝。
主要優(yōu)勢
使用方便
鋁制內腔可以更好的散熱
用于排氣的進(jìn)入腔室內的可調流量的空氣
適用于15毫米培養皿的占用空間
兩個(gè)內部的架子
加熱時(shí)發(fā)出輕微警告
從1 min到120 min的計時(shí)器
旋涂機
這款旋涂機結構緊湊且具有先進(jìn)的功能，適用于直徑高達150 mm的晶圓和127 mm × 127 mm的基材。該旋涂機可對可控且重復性的PDMS層進(jìn)行精細的調節。其緊湊的尺寸可使該設備實(shí)現真正的移動(dòng)。此外，蓋子上的孔允許進(jìn)行動(dòng)態(tài)PDMS涂層。
主要優(yōu)勢：
專(zhuān)為易用性而設計
從操作面板或PC上進(jìn)行簡(jiǎn)單的編程
能夠以多種加速度和速度來(lái)設置復雜的序列
易于清潔
延長(cháng)使用壽命的非堵塞系統
低振動(dòng)
可到12000 rpm的速度
提供晶圓定心工具
紫外燈
這種紫外燈是一個(gè)非常緊湊的臺式系統，能夠曝光直徑達4英寸晶圓的表面區域。這種自動(dòng)紫外線(xiàn)系統兼容硬（物理）或軟（接近）掩膜接觸，并且具有可變掩膜到基底距離控制功能。
在2μm分辨率下，該儀器特別適用于軟光刻的應用。閃光曝光能夠減少光致抗蝕劑的內部機械應力。其小尺寸可以安裝在任何你想要的地方，尤其是在潔凈室外。
主要優(yōu)勢：
在整個(gè)晶圓表面區域（帶寬低于10nm）進(jìn)行完美的單色曝光
冷紫外曝光
光的發(fā)散角小于2°
強大的功率密度
長(cháng)壽命LED：超過(guò)10,000小時(shí)，相當于8-10年的使用壽命
LED的快速打開(kāi)/關(guān)閉開(kāi)關(guān)按鈕允許對光刻膠進(jìn)行閃光操作
用于曝光循環(huán)編程操作的用戶(hù)友好的觸摸屏界面
不需要預熱時(shí)間
紫外光源強度的直觀(guān)控制
自動(dòng)化的晶圓裝載和卸載系統
可使用玻璃和塑料光罩
定向紫外光束
UV功率的時(shí)間沒(méi)有變化
4英寸晶圓上的高度UV均勻性
集成的UV測量?jì)x
熱板
確保準確、均勻和穩定的溫度設定點(diǎn)。該數字熱板設備可以設置加熱和冷卻的溫度斜坡。通過(guò)其可編程控制（可使您的光刻過(guò)程自動(dòng)化）可讓您的生活更輕松。
其鋁制頂板及其大面積的加熱表面能夠在溫度均勻的足夠寬的區域內有效地烘烤4英寸晶圓上的SU-8光刻膠。溫度斜坡能夠減小光刻膠層內的機械應力。
主要優(yōu)勢
用于加熱和冷卻的溫度斜坡
4英寸晶圓上的高溫均勻性
沒(méi)有隨時(shí)間的溫度傳感器漂移
微處理器顯示保持一致的濕度
較小的溫度過(guò)沖
自動(dòng)計時(shí)器
易于光刻膠清潔的平滑鋁板
直接從PC上控制時(shí)間計數、溫度和設定點(diǎn)。
輔助設備
空氣壓縮機 顯影儀 超聲浴清洗器 真空泵
一站式微流控PDMS芯片加工設備列表
Elveflow微流控儀器中文版產(chǎn)品目錄（2019）下載，請點(diǎn)擊 這里
如何從SU-8模具中加工PDMS芯片？請點(diǎn)擊 這里
PDMS微流控芯片的制作流程及其應用，請點(diǎn)擊 這里
微流控實(shí)驗系統的通用配置方案，請點(diǎn)擊 這里
