具有對準功能的UVK9紫外線(xiàn)曝光機（三維結構）

帶有對準功能的高分辨率紫外線(xiàn)燈-UVK9
UVK9有一個(gè)完全自動(dòng)的紫外線(xiàn)曝光室，具有高度準直的紫外線(xiàn)（準直度＜2°）。使用UV LED等，無(wú)需加熱或冷卻時(shí)間，且LED燈的使用壽命超過(guò)10000小時(shí)。智能界面簡(jiǎn)化了曝光過(guò)程，您只需要按照屏幕上的指示進(jìn)行操作即可。UVK9具有5μm精度的對準功能和2μm的分辨率，與無(wú)塵室中的任何紫外線(xiàn)曝光系統相似，但仍是臺式設備，可以安裝在任何地方，尤其是在無(wú)塵室外部。

優(yōu)勢
（1）高分辨率低至2μm
（2）高紫外線(xiàn)功率曝光
（3）完全可調的時(shí)間和功率
（4）易于使用
（5）5μm對準
（6）提供軟光刻工藝的全部知識

模具對準！
UVK9實(shí)際上類(lèi)似于UVK3，但是其可在UV曝光之前在掩模和晶圓之間進(jìn)行對齊。

的確，借助操縱桿，您將能夠以5μm的分辨率將掩模對準第一光刻膠層。對準操作很容易很容易在四個(gè)自由度上完成，所有移動(dòng)都可以通過(guò)視頻輔助定位系統進(jìn)行檢查。

憑借UVK9紫外曝光機，您可以在同一個(gè)模具上加工不同的厚度層，如生物領(lǐng)域，首先要有一個(gè)較小的通道（高度約5μm），較大的通道接近樣品的尺寸（高度約40μm）。

您也可以通過(guò)關(guān)閉通道并在某個(gè)精確位置打開(kāi)流體連接來(lái)在光刻膠中創(chuàng )建硬質(zhì)器件。

技術(shù)支持
我們?yōu)槲覀児�應的所有設備提供高水平的技術(shù)支持，同時(shí)也為紫外曝光前后的相關(guān)微加工步驟提供支持。除了在整個(gè)過(guò)程中幫助您提供一部分支持外，我們還可以在所有加工過(guò)程中為您提供指導。

技術(shù)規格
（1）UVK9是緊湊的對準式UV曝光系統（475×475×478 mm）
（2）UV LED燈的波長(cháng)為365nm，使用壽命長(cháng)達10000個(gè)小時(shí)。
（3）像UVK3一樣，發(fā)散角確實(shí)小于2°，而且在4英寸晶圓的整個(gè)表面上的曝光均勻性都優(yōu)于5%。
（4）UVK9可以在掩膜模式下進(jìn)行真空接觸